激光測(cè)厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的，上下的兩個(gè)傳感器分別測(cè)量被測(cè)體上表面的位置和下表面的位置，通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)體的厚度。激光測(cè)厚儀的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測(cè)量，相對(duì)接觸式測(cè)厚儀更精準(zhǔn)，不會(huì)因?yàn)槟p而損失精度。相對(duì)超聲波測(cè)厚儀精度更高。相對(duì)X射線測(cè)厚儀沒(méi)有輻射污染。
激光測(cè)厚儀是基于三角測(cè)距原理，使用集成式的三角測(cè)距傳感器測(cè)量出從安裝支架到物體表面的距離，進(jìn)而根據(jù)支架的固定距離計(jì)算得出物體的厚度。
激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地其像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,進(jìn)而可計(jì)算出被測(cè)物體的實(shí)際移動(dòng)距離。
激光的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)測(cè)量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)亮的光斑，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)，其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化。
激光測(cè)厚儀的工作原理基于光的干涉現(xiàn)象。當(dāng)激光束垂直照射在物體表面時(shí)，一部分光線被物體上的分子或晶格散射，一部分光線穿過(guò)物體并且在物體背面發(fā)生反射。這些散射光和反射光在物體表面形成一些干涉圖案。激光測(cè)厚儀通過(guò)測(cè)量這些干涉圖案的變化來(lái)得到物體的厚度。
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