激光功率計是一種用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時間平均功率的儀器。它通常使用熱吸收、熱釋電或熱輻射原理進行測量,在激光科學、工業(yè)、軍事等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。如果激光器或系統(tǒng)輸出功率不符合要求,激光功率計可以及時發(fā)現(xiàn)問題,并對其進行修正和調(diào)整,從而確保激光器或系統(tǒng)的正常運行和安全性。
激光探頭是一個涂有熱電材料的吸收體,熱電材料吸收大部分的光能量并轉(zhuǎn)化成熱量,只有少部分反射。吸收與反射比例與材料的光譜響應(yīng)曲線有關(guān),吸收體的儲熱體和它的厚度決定了熱量傳輸?shù)教筋^的速度和反應(yīng)時間。探頭溫度變化,能夠產(chǎn)生電流,電流通過薄片環(huán)形電阻轉(zhuǎn)變成電壓信號傳輸出來。
激光功率計一般由熱電堆或光電二極管構(gòu)成,熱電堆用來測高功率,光電二極管用來測低功率。能量計由熱釋電材料構(gòu)成,熱釋電材料對脈沖信號有響應(yīng)。其中將激光功率轉(zhuǎn)換成熱量的膜層起著重要的作用,是激光功率或能量計的核心技術(shù)。
熱電堆功率計反應(yīng)時間都比較慢,由其原理決定的,熱電堆功率的響應(yīng)時間取決于激光在功率計表面被膜層吸收后,產(chǎn)生的熱量傳遞到功率計圓盤邊緣所需要的熱傳遞時間。測量功率越大,一般來說所需要的探測圓盤直徑越大,對較大的功率計探頭而言,熱傳遞所需要的時間都在秒量級,所以*大功率計所需要的響應(yīng)時間也比較長。當然也有一些特殊設(shè)計的熱電偶結(jié)構(gòu),測量熱傳遞的方向和激光方向一致,把這個方向的熱電偶做的很薄,微米量級,這樣大的降低了熱傳遞所需要的時間,可將功率計熱響應(yīng)時間下降到毫秒以下。